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射频电源常见故障维修与安装
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产品名称:
射频电源常见故障维修与安装
产品型号:
射频电源维修
产品展商:
其它品牌
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简单介绍
一般是连接射频源和匹配器或功率计的电缆插头与插座接触**或根本没有接触上,用钳子或镊子将插座芯往里挟一下,用洒精棉球把插头擦干净再插上即可解决。射频电源常见故障维修与安装
射频电源常见故障维修与安装
的详细介绍
射频电源常见故障现象及维修
:
射频电源故障现象1.:
有Ua无Ia
原因及解决办法:射频电源常见故障维修与安装
Ua接线断、表头上虽有Ua而电子管上没有;
射频电源故障现象2
:有Ua,Ia小,无Pf和Pr。
原因及解决办法:
一般是连接射频源和匹配器或功率计的电缆插头与插座接触**或根本没有接触上,用钳子或镊子将插座芯往里挟一下,用洒精棉球把插头擦干净再插上即可解决。
射频电源故障现象3
:有Ua,Ia较小,有Pf和Pr,但较大,调不下来,不起辉。
原因及解决办法:
1) 匹配器输出电缆插头座之间接触不上,解决办法同“2)”;
2) 输出电缆与电极接触**;
3) 电极与外壳短路;
射频电源故障现象4
:有Ua,Ia很大。
原因及解决办法:
Ug1无激励。
射频电源安装与调试
1. 电子管的安装
打开机箱上盖,将电子管垂直向下插入管座,插到底,然后顺时针旋转大约60度(有限位),套上接线卡子,将螺钉旋紧一些,再盖上机箱的上盖。
注意用手拿电子管时,不能碰
陶瓷部位,以免手上汗迹沾在陶瓷
部位降低管子的耐压。
2. 接线
如图,注意射频电缆接头要旋
紧,电缆弯曲尽量自然一些。
3. 电源的检查
在未正式与设备连调之前,或在工作过程中有异常,比如不起辉、
不稳定、反向功率大等,可单独检查电源。
方法:用假负载替代真实负载,接通电源→开启开关→当红色小灯亮后→“Ua调节”旋钮逆时针调到头→按下“Ua—ON”开关→顺时针调Ua到200伏(此时各表头均有指示)→调匹配器(反复调)使反射功率*小,如果这时Ua、Ia、功率都正常,则可认为电源工作正常。Ua×Ia×80%≈入射功率。
4. 起辉
在确认射频源正常后,即可接上真实负载进行调试。
**次起辉时,可将Ua调到400~500V,如果未起辉,反射功率会很大,调节耦合和调谐旋钮使之起辉,暂且先不管反射功率有多大。如果不起辉,可降低真空度。磁控溅射真空度可降到数Pa。真空度低些容易起辉。如还不起辉,可采取短时间加大功率的方法。比如Ua加到700V,如果不起辉,马上把Ua降一点,再调一下匹配器电容,再略加高Ua,如此重复进行,直到起辉为止。即:
如果再不起辉,应检查反应室及接线部分是否有问题。
起辉后,调匹配器之电容使反射功率减小直到接近零。
如果起辉时真空度较低,起辉后可逐渐提高真空度.
5. 加功率
在起辉正常后,可提高功率,这里要注意的是,在初次起辉时,可能由于反应或工作气体不干净,设计上欠合理等因素而使反应室内打火,这种情况功率不能提高。**,在正常工作时,通常靶上所加功率为5~10W/cm2,极限功率约为20 W/cm2,所加功率不要超过极限值,否则会烧毁靶。
6. 几个参考数据
射频功率源驻波比≤1.5
磁控溅射功率密度5~10 W/cm2
磁控溅射压强0.5~数Pa
自偏压:100V~500V(自偏压与真空度、功率密度、磁控强度、靶材等有关)
7. 几种故障的判断
在正常工作时,如果发生跳闸现象,则直流供电部分出现故障。
Ua突然变大时,电子管损坏的可能性大。
有Ua无Ia时,驱动板有故障或高频插头接触**。
射频功率源及其它仪表的安装
射频功率源通常用于和等离子设备配套,该设备除主机及射频源以外,还有其它真空仪表,如质量流量计、真空计、分子泵、温控仪表、微机等,如果安装不合理,射频源会干扰这些真空仪表。
1) 射频源的安装:要将匹配器的机箱与真空室尽可能靠近,匹配器安装在机柜内的,要将机柜与真空室尽可能靠近,能直接与真空室或工作台接触*好,如无法接触,要用纺织线以*短的距离将它们连接起来(功率较大的射频源已与真空室接触好)。
2) 其它仪表的安装:a.测量线、控制线要用屏蔽线;b.电源输入要加电源滤波器;c.质量流量计的控制盒与真空室的连接,如可能的话,用绝缘管道。
3) 从真空室里引到真空室外的导线,如照明线、加专线、测量控制线及其它电极的引线,在真空室内耦合有很强的射频信号,在引出真空室后,要加电容滤波,去掉射频信号,滤波电容要用耐压高一些的云母电容或CBB电容有时要用高功率瓷介电容。
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